Фотограф прецизионной фотолитографии что это

Фотограф прецизионной фотолитографии

§ 39. Фотограф прецизионной фотолитографии 3-го разряда

Характеристика работ. Изготовление несложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на фотокамере, фотоштампах. Подготовка простых металлизированных промежуточных оригиналов к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов. Изготовление фотошаблонов односторонних печатных плат. Подбор режимов экспонирования и фотообработки для эмульсионных и фоторезистивных стеклопластин. Контактная фотографическая печать. Перепечатка фотошаблонов с рабочего оригинала. Оценка качества пробного и тестовых отсъемов на генераторе изображений, фотокамерах и фотоштампах. Приготовление растворов для обработки фотослоя.

Должен знать: устройство, способы подналадки и принцип действия обслуживаемого оборудования; устройство и технические данные фотокамеры; режимы экспонирования, проявления и фиксации; основы фотохимии, оптики, фотолитографии; методы и способы проверки работы оборудования.

Примеры работ

2. Фотошаблоны пленочные-изготовление с белков.

§ 40. Фотограф прецизионной фотолитографии 4-го разряда

Характеристика работ. Изготовление эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов средней сложности на различном оборудовании. Подготовка металлизированных промежуточных оригиналов средней сложности к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов двухсторонних печатных плат. Мультипликация пленочных фотошаблонов с точностью +/- 50 мкм на фотокамере. Подбор режима обработки фотопластин или фоторезистивных пластин при изготовлении промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Выбор и настройка установки и оптики для получения несложных фотошаблонов. Измерение размеров на фотошаблоне с помощью микроскопов. Подбор проявителей и травителей для хромированных стеклопластин.

Должен знать: устройство применяемого оборудования и методы настройки оборудования; фотохимические процессы, протекающие при обработке фотоматериалов (эмульсии, резисты); свойства химикатов и их роль в процессе фотообработки; свойства, характеристики фотоматериалов (светочувствительность, зернистость, разрешающая способность, вуаль, контрастность изображения, фотографическая широта); фотолитографический процесс, общие понятия по корректировке режимов; принцип работы с микроскопами.

Примеры работ

2. Изделия СИС, СВЧ (средние интегральные схемы и изделия сверхвысокочастотные):

— проведение экспресс-контроля фотошаблонных заготовок (ФШЗ);

— изготовление эмульсионного и металлизированного промежуточного оригинала;

— подготовка металлизированного промежуточного оригинала к мультипликации;

— изготовление металлизированных эталонных фотошаблонов;

— исправление дефектных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на ретушере.

§ 41. Фотограф прецизионной фотолитографии 5-го разряда

Характеристика работ. Изготовление сложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Изготовление пленочных фотошаблонов НЭЧ и выводных рамок методом мультипликации с точностью совмещения до 20 мкм. Изготовление фотошаблонов, многослойных печатных плат. Подбор режимов обработки. Выбор метода обработки фотоматериалов и проведения технологических операций по обработке фотошаблонов. Настройка установок, подбор оптики, выбор фотоматериалов для изготовления особо точных шаблонов. Составление программ запуска эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов на генераторе изображений. Расчет программ на распечатку металлизированных эталонных фотошаблонов на фотоштампе. Проведение измерений с помощью микроскопа. Исправление отдельных элементов на фотошаблоне.

Должен знать: устройство и способы проверки на точность различных моделей обслуживаемого оборудования; режимы фотографической обработки; критерии оценки надежности работы генераторов изображений, фотоштампов, возможные методы устранения имеющихся отклонений; характеристики метода сканирования и метода фотонабора, используемых при получении изображения на фотонаборных установках; математическое обеспечение генераторов изображения; погрешности изображения в оптических системах; возможные виды брака и методы его устранения; технические требования и документацию на изготавливаемые изделия.

Примеры работ

§ 42. Фотограф прецизионной фотолитографии 6-го разряда

Характеристика работ. Изготовление сложных фотошаблонов, эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов. Самостоятельный подбор необходимой аппаратуры, режимов изготовления, контрольно-измерительных приборов, светочувствительного материала и химикатов. Определение и коррекция режима фотохимического и фотолитографического процесса для получения мелкоструктурных негативных, диапозитивных и позитивных изображений с соблюдением геометрических форм в пределах заданного класса точности.

Должен знать: устройство, принцип работы, способы и правила проверки прецизионных фотокамер всех типов, генераторов изображений, фотоштампов; основы прецизионной фотолитографии; назначение, устройство и правила эксплуатации контрольно-измерительной и светотехнической аппаратуры и приборов; рецептуру растворов для фотохимического процесса; режимы фотолитографической и фотохимической обработки.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

Источник

Фотограф прецизионной фотолитографии

§ 39. Фотограф прецизионной фотолитографии 3-го разряда

Характеристика работ. Изготовление несложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на фотокамере, фотоштампах. Подготовка простых металлизированных промежуточных оригиналов к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов. Изготовление фотошаблонов односторонних печатных плат. Подбор режимов экспонирования и фотообработки для эмульсионных и фоторезистивных стеклопластин. Контактная фотографическая печать. Перепечатка фотошаблонов с рабочего оригинала. Оценка качества пробного и тестовых отсъемов на генераторе изображений, фотокамерах и фотоштампах. Приготовление растворов для обработки фотослоя.

Должен знать: устройство, способы подналадки и принцип действия обслуживаемого оборудования; устройство и технические данные фотокамеры; режимы экспонирования, проявления и фиксации; основы фотохимии, оптики, фотолитографии; методы и способы проверки работы оборудования.

Примеры работ

2. Фотошаблоны пленочные-изготовление с белков.

§ 40. Фотограф прецизионной фотолитографии 4-го разряда

Характеристика работ. Изготовление эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов средней сложности на различном оборудовании. Подготовка металлизированных промежуточных оригиналов средней сложности к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов двухсторонних печатных плат. Мультипликация пленочных фотошаблонов с точностью +/- 50 мкм на фотокамере. Подбор режима обработки фотопластин или фоторезистивных пластин при изготовлении промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Выбор и настройка установки и оптики для получения несложных фотошаблонов. Измерение размеров на фотошаблоне с помощью микроскопов. Подбор проявителей и травителей для хромированных стеклопластин.

Должен знать: устройство применяемого оборудования и методы настройки оборудования; фотохимические процессы, протекающие при обработке фотоматериалов (эмульсии, резисты); свойства химикатов и их роль в процессе фотообработки; свойства, характеристики фотоматериалов (светочувствительность, зернистость, разрешающая способность, вуаль, контрастность изображения, фотографическая широта); фотолитографический процесс, общие понятия по корректировке режимов; принцип работы с микроскопами.

Примеры работ

2. Изделия СИС, СВЧ (средние интегральные схемы и изделия сверхвысокочастотные):

— проведение экспресс-контроля фотошаблонных заготовок (ФШЗ);

— изготовление эмульсионного и металлизированного промежуточного оригинала;

— подготовка металлизированного промежуточного оригинала к мультипликации;

— изготовление металлизированных эталонных фотошаблонов;

— исправление дефектных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на ретушере.

§ 41. Фотограф прецизионной фотолитографии 5-го разряда

Характеристика работ. Изготовление сложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Изготовление пленочных фотошаблонов НЭЧ и выводных рамок методом мультипликации с точностью совмещения до 20 мкм. Изготовление фотошаблонов, многослойных печатных плат. Подбор режимов обработки. Выбор метода обработки фотоматериалов и проведения технологических операций по обработке фотошаблонов. Настройка установок, подбор оптики, выбор фотоматериалов для изготовления особо точных шаблонов. Составление программ запуска эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов на генераторе изображений. Расчет программ на распечатку металлизированных эталонных фотошаблонов на фотоштампе. Проведение измерений с помощью микроскопа. Исправление отдельных элементов на фотошаблоне.

Должен знать: устройство и способы проверки на точность различных моделей обслуживаемого оборудования; режимы фотографической обработки; критерии оценки надежности работы генераторов изображений, фотоштампов, возможные методы устранения имеющихся отклонений; характеристики метода сканирования и метода фотонабора, используемых при получении изображения на фотонаборных установках; математическое обеспечение генераторов изображения; погрешности изображения в оптических системах; возможные виды брака и методы его устранения; технические требования и документацию на изготавливаемые изделия.

Примеры работ

§ 42. Фотограф прецизионной фотолитографии 6-го разряда

Характеристика работ. Изготовление сложных фотошаблонов, эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов. Самостоятельный подбор необходимой аппаратуры, режимов изготовления, контрольно-измерительных приборов, светочувствительного материала и химикатов. Определение и коррекция режима фотохимического и фотолитографического процесса для получения мелкоструктурных негативных, диапозитивных и позитивных изображений с соблюдением геометрических форм в пределах заданного класса точности.

Должен знать: устройство, принцип работы, способы и правила проверки прецизионных фотокамер всех типов, генераторов изображений, фотоштампов; основы прецизионной фотолитографии; назначение, устройство и правила эксплуатации контрольно-измерительной и светотехнической аппаратуры и приборов; рецептуру растворов для фотохимического процесса; режимы фотолитографической и фотохимической обработки.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

Комментарии к профессии

Приведенные тарифно-квалификационные характеристики профессии «Фотограф прецизионной фотолитографии» служат для тарификации работ и присвоения тарифных разрядов согласно статьи 143 Трудового кодекса Российской Федерации. На основе приведенных выше характеристик работы и предъявляемых требований к профессиональным знаниям и навыкам составляется должностная инструкция фотографа прецизионной фотолитографии, а также документы, требуемые для проведения собеседования и тестирования при приеме на работу. При составлении рабочих (должностных) инструкций обратите внимание на общие положения и рекомендации к данному выпуску ЕТКС (см. раздел «Введение»).

Обращаем ваше внимание на то, что одинаковые и схожие наименования рабочих профессий могут встречаться в разных выпусках ЕТКС. Найти схожие названия можно через справочник рабочих профессий (по алфавиту).

Источник

Обучение по специальности: Фотограф прецизионной фотолитографии в Санкт-Петербурге

Кратко о курсе по направлению Фотограф прецизионной фотолитографии

Кратко о курсе по направлению Фотограф прецизионной фотолитографии

Характеристика работ. Изготовление несложных эмульсионных,металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на фотокамере,фотоштампах. Подготовка простых металлизированных промежуточных оригиналов кмультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов. Изготовление фотошаблоноводносторонних печатных плат. Подбор режимов экспонирования и фотообработки дляэмульсионных и фоторезистивных стеклопластин. Контактная фотографическаяпечать. Перепечатка фотошаблонов с рабочего оригинала. Оценка качества пробногои тестовых отсъемов на генераторе изображений, фотокамерах и фотоштампах.Приготовление растворов для обработки фотослоя.

Должен знать: устройство, способы подналадки и принципдействия обслуживаемого оборудования; устройство и технические данныефотокамеры; режимы экспонирования, проявления и фиксации; основы фотохимии,оптики, фотолитографии; методы и способы проверки работы оборудования.

Примеры работ

2. Фотошаблоны пленочные-изготовление с белков.

§ 40. Фотограф прецизионной фотолитографии 4-го разряда

Характеристика работ. Изготовление эмульсионных,металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов средней сложности наразличном оборудовании. Подготовка металлизированных промежуточных оригиналовсредней сложности к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблоновдвухсторонних печатных плат. Мультипликация пленочных фотошаблонов с точностью+/- 50 мкм на фотокамере. Подбор режима обработки фотопластин илифоторезистивных пластин при изготовлении промежуточных оригиналов ифотошаблонов. Выбор и настройка установки и оптики для получения несложныхфотошаблонов. Измерение размеров на фотошаблоне с помощью микроскопов. Подборпроявителей и травителей для хромированных стеклопластин.

Должен знать: устройство применяемого оборудования и методынастройки оборудования; фотохимические процессы, протекающие при обработкефотоматериалов (эмульсии, резисты); свойства химикатов и их роль в процессефотообработки; свойства, характеристики фотоматериалов (светочувствительность,зернистость, разрешающая способность, вуаль, контрастность изображения,фотографическая широта); фотолитографический процесс, общие понятия покорректировке режимов; принцип работы с микроскопами.

Примеры работ

2. Изделия СИС, СВЧ (средние интегральные схемы и изделиясверхвысокочастотные):

— проведение экспресс-контроля фотошаблонных заготовок(ФШЗ);

— изготовление эмульсионного и металлизированногопромежуточного оригинала;

— подготовка металлизированного промежуточного оригинала кмультипликации;

— изготовление металлизированных эталонных фотошаблонов;

— исправление дефектных промежуточных оригиналов ифотошаблонов на ретушере.

§ 41. Фотограф прецизионной фотолитографии 5-го разряда

Характеристика работ. Изготовление сложных эмульсионных,металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Изготовлениепленочных фотошаблонов НЭЧ и выводных рамок методом мультипликации с точностьюсовмещения до 20 мкм. Изготовление фотошаблонов, многослойных печатных плат.Подбор режимов обработки. Выбор метода обработки фотоматериалов и проведениятехнологических операций по обработке фотошаблонов. Настройка установок, подбороптики, выбор фотоматериалов для изготовления особо точных шаблонов.Составление программ запуска эмульсионных и металлизированных промежуточныхоригиналов на генераторе изображений. Расчет программ на распечаткуметаллизированных эталонных фотошаблонов на фотоштампе. Проведение измерений спомощью микроскопа. Исправление отдельных элементов на фотошаблоне.

Должен знать: устройство и способы проверки на точностьразличных моделей обслуживаемого оборудования; режимы фотографическойобработки; критерии оценки надежности работы генераторов изображений,фотоштампов, возможные методы устранения имеющихся отклонений; характеристикиметода сканирования и метода фотонабора, используемых при получении изображенияна фотонаборных установках; математическое обеспечение генераторов изображения;погрешности изображения в оптических системах; возможные виды брака и методыего устранения; технические требования и документацию на изготавливаемыеизделия.

Примеры работ

§ 42. Фотограф прецизионной фотолитографии 6-го разряда

Характеристика работ. Изготовление сложных фотошаблонов,эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов. Самостоятельныйподбор необходимой аппаратуры, режимов изготовления, контрольно-измерительныхприборов, светочувствительного материала и химикатов. Определение и коррекциярежима фотохимического и фотолитографического процесса для получениямелкоструктурных негативных, диапозитивных и позитивных изображений ссоблюдением геометрических форм в пределах заданного класса точности.

Должен знать: устройство, принцип работы, способы и правилапроверки прецизионных фотокамер всех типов, генераторов изображений,фотоштампов; основы прецизионной фотолитографии; назначение, устройство иправила эксплуатации контрольно-измерительной и светотехнической аппаратуры иприборов; рецептуру растворов для фотохимического процесса; режимыфотолитографической и фотохимической обработки.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

Комментарии к профессии

Приведенные тарифно-квалификационные характеристики профессии «Фотограф прецизионной фотолитографии» служат для тарификации работ и присвоения тарифных разрядов согласно статьи 143 Трудового кодекса Российской Федерации. На основе приведенных выше характеристик работы и предъявляемых требований к профессиональным знаниям и навыкам составляется должностная инструкция фотографа прецизионной фотолитографии, а также документы, требуемые для проведения собеседования и тестирования при приеме на работу. При составлении рабочих (должностных) инструкций обратите внимание на общие положения и рекомендации к данному выпуску ЕТКС (см. раздел «Введение»).

Обращаем ваше внимание на то, что одинаковые и схожие наименования рабочих профессий могут встречаться в разных выпусках ЕТКС. Найти схожие названия можно через справочник рабочих профессий (по алфавиту).

Подзаголовок:

Данный стандарт отвечает всем запросам и условиям современной экономической среды, а также отражает все наиболее важные аспекты организации и ведения деятельности:

Пример таблицы

Как получить удостоверение «Фотограф прецизионной фотолитографии» в Санкт-Петербурге

Вам необходимо будет оформить заявку, на основании которой мы заключим договор. После получения оплаты мы зарегистрируем и оформим удостоверение, а также протокол проверки знаний, затем отправим Вам сканы на согласование, после чего вышлем оригиналы на Ваш адрес почтой РФ или курьером.

Источник

Фотограф прецизионной фотолитографии

3-й разряд

Характеристика работ. Изготовление несложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на фотокамере, фотоштампах. Подготовка простых металлизированных промежуточных оригиналов к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов. Изготовление фотошаблонов односторонних печатных плат. Подбор режимов экспонирования и фотообработки для эмульсионных и фоторезистивных стеклопластин. Контактная фотографическая печать. Перепечатка фотошаблонов с рабочего оригинала. Оценка качества пробного и тестовых отсъемов на генераторе изображений, фотокамерах и фотоштампах. Приготовление растворов для обработки фотослоя.

Должен знать: устройство, способы подналадки и принцип действия обслуживаемого оборудования; устройство и технические данные фотокамеры; режимы экспонирования, проявления и фиксации; основы фотохимии, оптики, фотолитографии; методы и способы проверки работы оборудования.

Примеры работ

4-й разряд

Характеристика работ. Изготовление эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов средней сложности на различном оборудовании. Подготовка металлизированных промежуточных оригиналов средней сложности к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов двухсторонних печатных плат. Мультипликация пленочных фотошаблонов с точностью +/- 50 мкм на фотокамере. Подбор режима обработки фотопластин или фоторезистивных пластин при изготовлении промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Выбор и настройка установки и оптики для получения несложных фотошаблонов. Измерение размеров на фотошаблоне с помощью микроскопов. Подбор проявителей и травителей для хромированных стеклопластин.

Должен знать: устройство применяемого оборудования и методы настройки оборудования; фотохимические процессы, протекающие при обработке фотоматериалов (эмульсии, резисты); свойства химикатов и их роль в процессе фотообработки; свойства, характеристики фотоматериалов (светочувствительность, зернистость, разрешающая способность, вуаль, контрастность изображения, фотографическая широта); фотолитографический процесс, общие понятия по корректировке режимов; принцип работы с микроскопами.

Примеры работ

5-й разряд

Характеристика работ. Изготовление сложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Изготовление пленочных фотошаблонов НЭЧ и выводных рамок методом мультипликации с точностью совмещения до 20 мкм. Изготовление фотошаблонов, многослойных печатных плат. Подбор режимов обработки. Выбор метода обработки фотоматериалов и проведения технологических операций по обработке фотошаблонов. Настройка установок, подбор оптики, выбор фотоматериалов для изготовления особо точных шаблонов. Составление программ запуска эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов на генераторе изображений. Расчет программ на распечатку металлизированных эталонных фотошаблонов на фотоштампе. Проведение измерений с помощью микроскопа. Исправление отдельных элементов на фотошаблоне.

Должен знать: устройство и способы проверки на точность различных моделей обслуживаемого оборудования; режимы фотографической обработки; критерии оценки надежности работы генераторов изображений, фотоштампов, возможные методы устранения имеющихся отклонений; характеристики метода сканирования и метода фотонабора, используемых при получении изображения на фотонаборных установках; математическое обеспечение генераторов изображения; погрешности изображения в оптических системах; возможные виды брака и методы его устранения; технические требования и документацию на изготавливаемые изделия.

Примеры работ

6-й разряд

Характеристика работ. Изготовление сложных фотошаблонов, эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов. Самостоятельный подбор необходимой аппаратуры, режимов изготовления, контрольно-измерительных приборов, светочувствительного материала и химикатов. Определение и коррекция режима фотохимического и фотолитографического процесса для получения мелкоструктурных негативных, диапозитивных и позитивных изображений с соблюдением геометрических форм в пределах заданного класса точности.

Должен знать: устройство, принцип работы, способы и правила проверки прецизионных фотокамер всех типов, генераторов изображений, фотоштампов; основы прецизионной фотолитографии; назначение, устройство и правила эксплуатации контрольно-измерительной и светотехнической аппаратуры и приборов; рецептуру растворов для фотохимического процесса; режимы фотолитографической и фотохимической обработки.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

Источник

Фотолитография

Прецизионная фотолитография – это способ создания на поверхности подложки фрагментов различных микроэлектронных приборов за счет чувствительности покрытий к интенсивному энергетическому излучению. Таким образом, покрытия могут воссоздавать определенное взаиморасположение, а также форму заданных элементов.

Различают три типа фотолитографии:

Каждая из них используется в различных сферах деятельности.

Особенности контактной фотолитографии

Контактная фотолитография обычно применяется для выполнения задач R&D, создания прототипов и производства изделий мелкосерийным выпуском. Для этого типа литографии используется гораздо более дешевое и простое по своему устройству оборудование, нежели для проекционной или безмасковой лазерной и электронно-лучевой. Также она выгоднее электро-лучевого и лазерного оборудования.

Во время работы устройства специальный шаблон прилегает вплотную к самой полупроводниковой пластине, а на ее поверхность предварительно наносится фоторезист. Ртутная или LED лампа засвечивает изображение топологии, при этом длина ее волны отвечает за минимальные параметры производимого фрагмента, расположенного на пластине.

Определения протяженности волны и ее обозначения:

Наиболее распространенные показатели для современного оборудования контактной фотолитографии составляют 0,5 – 1,0 мкм.

У данного типа есть несколько недостатков, среди которых:

С целью уменьшения количества недостаточно качественных изделий из-за контакта, разработчики создали способ литографии с микрозазаром, отодвинув фотографический шаблон от самой подложки на пару мкм. Это дало возможность обрабатывать пластину целиком всего за один заход, поэтому данный метод стал повсеместно применяться при серийном выпуске изделий с топологическим нормативом около 1 мкм.

Специфика фотолитографии проекционной

Этот тип фотолитографии применяется при изготовлении полупроводниковых изделий. Это исключает применение контактного метода, потому что минимальные параметры топологического фрагмента инновационного оборудования (до 20 нм) гораздо меньше, чем предел разрешения машин для контактного типа производства.

К тому же диаметр пластин, применяемых при изготовлении, значительно выше. Так, совместить такие процессы, как экспонирование и засветка пластины, намного труднее, а учитывая непосредственное контактирование с шаблоном, оказывает значительное влияние на воспроизведение.

Это стало причиной того, что большинство предприятий в России для массового производства используют оборудование для фотолитографии, работающее на основе проекционного метода: картинка с шаблона проецируется специальными объективами на полупроводниковую пластинку. Засвечиванию подвергается не вся подложка, а только единственный ее фрагмент за каждый шаг. Чтобы засветка всей подложки произошла за один раз, требуется число шагов, равное числу фрагментов на ней. Это обусловило название проекционных установок «stepper» – с англ. «шаг».

Основным достоинством способа является полное отсутствие контактирования фотошаблона с фоторезистом на пластине. Благодаря этому шаблон не повреждается и способен прослужить гораздо более длительное количество времени. Более того, разрешение способно достигнуть минимального значения в 20 нм.

Специфика безмасковой лазерной и электронно-лучевой фотолитография

Безмасковая лазерная фотолитография электронно-лучевая литография применяется для выполнения задач R&D, создания прототипов и производства изделий мелкосерийным выпуском. Для этого типа литографии используется источники сфокусированного лазерного излучения (лазеры) или электронная колонна генерирующая сфокусированный пучок электронов для засвечивания фоторезиста и создания нужной топологии (картинки) на подложке или фотошаблоне.

Сфокусированный лазерный луч засвечивает изображение топологии, при этом длина ее волны отвечает за минимальные параметры производимого фрагмента, расположенного на пластине.

Источник